宇都宮大学大学院地域創生科学研究科工農総合科学専攻光工学プログラム

当研究室は、薄膜作製、特性評価、光導波路シミュレーションプログラム等、光デバイスの作製・評価を行うための機器を揃えています。

Clean Room

室内は、紫外線を遮断したイエロールームとなっており、ここでデバイスを作成しています。クリーンルームには、ドラフトチャンバ、 プログラマブルスピンコータ、温度制御式オーブン、真空オーブン、紫外線露光器、高分解能顕微鏡、粘度計、および、イオンスパッタリング装置を備えています。

Spin coater	UV lightsource
O2 Reactive Ion Etching machine

Material Characterization Equipment

クリーンルームで作製したデバイスを評価するための部屋です。屈折率を測定するMetricon 2010M プリズムカプラ、接触式表面形状測定装置、紫外可視近赤外（UV-Vis-NIR）分光光度計、Avantes社 ファイバ入射分光器システム、コロナポーリング、および、コンタクトポーリング装置等を揃えています。

Prism coupler	Surface profile measurement apparatus
Shimadzu UV-Vis-NIR spectrophotometer	SHG setup apparatus

Optical Waveguide Evaluation Equipment

この実験室では、バッドジョイント技術を用いた光デバイスの評価をしています。除振台が設置されており、偏波コントロールファイバホルダやスペクトラムアナライザを使用して特性評価を行っています。また、アクティブ光導波路を測定するための、2チャンネルオシロスコープやファンクションジェネレータ、赤外線イメージングシステムも使用しています。最近、光導波路の自己形成装置も構築しました。

Evaluation equipment of waveguide	Optical Spectrum Analyzer

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